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雙面研磨/拋光機
YJ-16B8L/PB
被加工件最大直徑：φ290mm
機器重量：約4200Kg
本機器主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體及其他半導體材料的雙面高精度研磨或拋光，也適用于其他金屬、非金屬、光學玻璃、藍寶石等硬、脆、薄材料的雙面高精度研磨或拋光。 This machine is suitable for double-side precision lapping and polishing of silicon wafer, crystal quartz wafer, sapphire wafer, optical crystal, optical glass, lithium niobium acid, ceramic wafer, and other hard and fragile materials.
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產品描述
參數
| 項目 | 規格 | 項目 | 規格 |
| YJ-16B8LB | YJ-16B8PB | ||
| 上下盤(mm)(內徑x外徑x厚度) | φ1188xφ618x45 (柱銷齒) | 上下盤(mm)(內徑x外徑x厚度) | φ1188xφ618x45 (柱銷齒) |
| 最小研磨厚度 (mm) | 0.3 | 最小拋光厚度 (mm) | 0.3 |
| 最大研磨厚度 (mm) | 30 | 最大拋光厚度 (mm) | 30 |
| 最大研磨直徑(mm) | φ290 | 最大拋光直徑(mm) | φ290 |
| 安裝游星輪個數 | 8 | 安裝游星輪個數 | 8 |
| 下盤轉速 | 0-50RPM | 下盤轉速 | 0-50RPM |
| 上盤提升氣缸行程 | 450mm | 上盤提升氣缸行程 | 450mm |
| 齒圈抬升行程 | 30mm | 齒圈抬升行程 | 30mm |
| 上盤電機 | 三相 7.5Kw 1450rpm | 上盤電機 | 三相 7.5Kw 1450rpm |
| 下盤電機 | 三相 7.5Kw 1450rpm | 下盤電機 | 三相 7.5Kw 1450rpm |
| 太陽輪電機 | 三相 1.5/2.2Kw 1450rpm | 太陽輪電機 | 三相 1.5/2.2Kw 1450rpm |
| 砂泵電機 | 250W | 砂泵電機 | 250W |
| 加壓范圍 | 0-400kg | 加壓范圍 | 0-400kg |
| 工作壓力 | 0.5-0.6Mpa | 工作壓力 | 0.5-0.6MPa |
| 裝機容量 | 約18KVA | 裝機容量 | 約18KVA |
| 主機尺寸 | 1970x1765x2670 (mm) | 主機尺寸 | 1970x1765x2670 (mm) |
| 設備總重量 | 約4200Kg | 設備總重量 | 約4200Kg |
| 設備每平方米重量 | 約1550kg/㎡ | 設備每平方米重量 | 約1550kg/㎡ |
| 設備要求地面承重 | 約1710kg/㎡ | 設備要求地面承重 | 約1710kg/㎡ |
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